光刻机是一种关键的微电子制造工具，被广泛应用于集成电路、太阳能电池等行业中。它的作用是将图形投影到硅晶圆表面，使化学反应在特定区域发生，进而形成电路、器件等微细结构。
光刻技术的进步推动了芯片的制造工艺向着更高密度、更精细化、更低能耗等方向发展。光刻机的应用也日益广泛，下面我们简单介绍几个例子。
集成电路
作为集成电路制造工艺的核心工具，光刻机在生产电子产品中有着重要地位。光刻机的分辨率和精度直接决定了集成电路的制造质量，对提高集成度和性能至关重要。
太阳能电池
太阳能电池光刻工艺是太阳能电池制造中的关键技术之一。利用光刻机在硅片表面印制阳极、阴极等电极，可以提高太阳能电池的光电转换效率和稳定性。
生物芯片
生物芯片是一种微小的、集成化的生物分析系统。由于生物芯片需要在微小的区域上进行微细加工和测量，因此需要高分辨率、高精度的光刻机进行支持。
光刻机是微电子制造中不可或缺的工具之一，其应用将贯穿于整个集成电路、电子器件、生物芯片、太阳能电池等相关产业。
